更新時(shí)間：2025-06-27
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
型號：EGN-206M
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 供貨周期 | 現(xiàn)貨 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源
日本ULVAC愛發(fā)科金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源
特征
它抑制背向散射電子并抑制襯底溫度的升高。
平頂結(jié)構(gòu)減少了電子束蒸發(fā)源上的沉積面積，使其易于清潔。
與以前的型號相比，新的發(fā)射器結(jié)構(gòu)將零件數(shù)量減少到 60%，使組裝更容易。
可以選擇用于金屬沉積的帶狀光束和用于氧化物/化合物的點(diǎn)光束。
作為設(shè)備制造商積累的專有技術(shù)的反饋到設(shè)計(jì)。
| 型 | EGN-206M 型 | EGN-406M | |
| 電子束偏轉(zhuǎn)角 | 270° | ||
| 坩堝數(shù)量 | 6 | ||
| 坩堝容量 | 20毫升 | 40毫升 | |
| 坩堝尺寸： 頂部 × 底部× 深度 | Φ42×Φ32×19（毫米） | Φ50×Φ41×25（毫米） | |
| 冷卻水 | 爐 邊 | 10L/min 或更高 | |
| 其他 | 2L/min 或更高 | ||
| 尺寸尺寸（寬×深×高） 不包含突起項(xiàng) | 214×343×144（毫米） | ||
| 重量 | 28 公斤或以下 | ||
| 沉積速率 | 1.6μm/min （帶狀光束 / 鋁 / 8kW / 40cc 坩堝 / 爐膛正上方 250H） | ||
| 最大加速電壓 | -10kV | ||
| 最大發(fā)射電流 | 0.8 安培 | 1.0 安培 | |
| 適用電源 | 電子產(chǎn)品HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||
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